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Au/PtPd電極形成装置
Au/PtPd電極形成装置
Electrode development system
電気特性を評価するための電極形成を行います。サンユー電子 SC-701。希薄Arガス中の簡易スパッタにより、試料上に数–数10nmの電極膜を形成します。当研究室で設計したメタルマスクを使用します。
自動精密切断機
自動精密切断機
Automatic Precision Saw
特性評価用試料の切り出しなどを行います。Buehler Isomet1000。標準仕様。低速回転するダイヤモンド切断に上部から、試料を(自重+小加重で)下降・接触させて切削切断します。
スピンコータ
スピンコータ
Spin coater
基板上の有機薄膜や、薄膜上のフォトレジスト膜などの形成を行います。共和理研 K-359 S-1。標準仕様、最高回転数 7000rpm。